清洗機 ( CLEANER ) 是一種專用設備，用於清潔半導體製造中的石英爐管、晶圓傳送盒、光罩盒等關鍵零件。它利用化學清洗、超聲波清洗等技術，有效去除表面的微量污染物（AMC），確保高潔淨度，提升生產過程的可靠性與產品品質。清洗機具備高效能、精密控制、自動化運行等特點，廣泛應用於半導體、光電等高科技產業。
各式零件清洗機 Parts Cleaner
簡介：
自動清洗乾燥各式光電半導體零件，可依客戶需求配置DI水洗、酸洗、鹼洗及乾燥各式零件，例如石英棒/管、玻璃基板、Carrier(Box/Cassette, SMIF Pod, FOUP/FOSB)…等。
用途：
Substrate quartz tube/rod, Plate, Carrier, …etc.
藥水：HF、HNO3、CH3COOH、HCl、Soap, N2、DI
功能：
自動酸洗、鹼洗、水洗與乾燥