清洗機

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清洗機是一種專用設備,用於清潔半導體製造中的石英爐管、晶圓傳送盒、光罩盒等關鍵零件。它利用化學清洗、超聲波清洗等技術,有效去除表面的微量污染物(AMC),確保高潔淨度,提升生產過程的可靠性與產品品質。清洗機具備高效能、精密控制、自動化運行等特點,廣泛應用於半導體、光電等高科技產業。

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各式零件清洗機

簡介:

自動清洗乾燥各式光電半導體零件,可依客戶需求配置DI水洗、酸洗、鹼洗、及乾燥各式零件,例如石英棒/管、玻璃基板、Carrier(Box/Cassette, SMIF Pod, FOUP/FOSB)、、、等。

用途:

Substrate quartz tube/rod, Plate, Carrier, …etc.

藥水:HF、HNO3、CH3COOH、HCL、Soap, N2、DI、、、

功能:

自動酸洗、鹼洗、水洗、與乾燥