清洗機

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清洗機是一種專用設備,用於清潔半導體製造中的石英爐管、晶圓傳送盒、光罩盒等關鍵零件。它利用化學清洗、超聲波清洗等技術,有效去除表面的微量污染物(AMC),確保高潔淨度,提升生產過程的可靠性與產品品質。清洗機具備高效能、精密控制、自動化運行等特點,廣泛應用於半導體、光電等高科技產業。

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石英爐管清洗機

簡介:

自動蝕刻清洗石英爐管/棒,可選用直立噴淋式(Spray process)、或水平浸泡式(Immersion process),含酸洗、鹼洗、與水洗等程序。

用途:

清洗6吋、8吋、12吋石英爐管、石英棒/襯管/預置管

藥水:HF、HNO3、CH3COOH、N2、DI

功能:

酸洗、鹼洗、水洗

自動化清洗石英爐管