清洗機 ( CLEANER ) 是一種專用設備，用於清潔半導體製造中的石英爐管、晶圓傳送盒、光罩盒等關鍵零件。它利用化學清洗、超聲波清洗等技術，有效去除表面的微量污染物（AMC），確保高潔淨度，提升生產過程的可靠性與產品品質。清洗機具備高效能、精密控制、自動化運行等特點，廣泛應用於半導體、光電等高科技產業。
石英爐管清洗機 Quartz Furnace Cleaner
簡介：
自動蝕刻清洗石英爐管/棒，可選用直立噴淋式(Spray process)、或水平浸泡式(Immersion process)，含酸洗、鹼洗與水洗等程序。
用途：
清洗6吋、8吋、12吋石英爐管、石英棒/襯管/預置管
藥水：HF、HNO3、CH3COOH、N2、DI
功能：
- 酸洗、鹼洗、水洗
- 自動化清洗石英爐管
